中古 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #293770464 を販売中

ACCRETECH/TSK PG 300 RMは、高速、完全にプログラム可能で、自動化されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、精密な品質結果を迅速かつ効率的に提供するように設計されています。このユニットは、高品質の結果を生み出す複数のカスタマイズ可能なプロセスを利用しています。5軸の精密位置決めテーブルを備えており、研削および研磨プロセスの正確な制御を可能にします。また、200〜300mmウェーハの切削加工用の高速研削モータもあります。このマシンは、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスを利用して、迅速かつ簡単なセットアップと操作を提供します。このツールは、200mm径を含む複数のウエハサイズを処理することができ、2 μ以下の表面品質仕上げと50nmまでの粗さを達成することができます。それは精度を高め、より高い生産の歩留まりを保障する2段階の粉砕プロセスを使用します。このアセットには、6軸モーションプログラムを使用したラッピングおよび研磨用の超精密スピンドルモータが含まれています。これは、従来の方法よりも高い精度と再現性を提供します。TSK PG300RMは、自動化されたプロセス、自動ウェーハセンタリング、圧力制御など、さまざまな調整と制御機能を備えています。また、プロセス表面からの粒子の効率的な抽出を確保するための真空ディスペンサーが含まれています。研削、ラッピング、研磨プロセス全体がサイクル時間を短縮するように設計されています。このモデルには、緊急停止ボタン、インターロックの読み込み/アンロード、およびユーザーの安全を確保するためのハンドタッチ保護などの安全機能も含まれています。この多目的で堅牢な装置は、量産および研究開発アプリケーションに最適です。このシステムは、顧客の特定のニーズに合わせて正確に調整できる、正確で再現性の高い、高度に自動化された結果を提供します。さらに、ユニットは操作とメンテナンスが非常に簡単です。