中古 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #293743894 を販売中

ACCRETECH/TSK PG 300 RMは、半導体ウェーハの製造のための洗練されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。研削/ラッピングユニットと研磨ユニットで構成され、1台のワークベンチユニットに統合されています。研削/ラッピングユニットは、直径200mmまでの半導体ウェーハの研削、ラッピング、研磨に使用できます。9軸CNC制御により、インデックス作成、輪郭形成、マイクロ溝の形成などの特殊な機能を提供します。研削/ラッピングユニットには、加工中の研削板の負荷を監視するために使用されるクローズドループ式ロードセルも装備されています。この研磨ユニットは、直径200mmまでの半導体ウェーハの高精度で均一な研磨を提供するように設計されています。CNC制御のターンテーブルで7軸動作を実現し、高精度で微細な研磨が可能です。精密かつ再現可能な圧力制御用の非常に精密な圧力センサと、必要な研磨媒体の自動適用用のAQSマシンが装備されています。TSK PG300RMには、エアフィルトレーションツールとダストフィルターが内蔵されており、ほこりのないクリーンな研磨プロセスを実現しています。ACCRETECH PG 300RMは、独自の設計によりウェーハ作製技術の新たなスタンダードを確立しました。PG 300 RMは、研削、ラッピング、研磨機能のユニークな組み合わせにより、半導体ウェハ上で可能な限り精密で均一な仕上がりを提供できます。これにより、小型精密部品、薄膜、薄膜層の製造など、最も精密で精密なウェハ作製アプリケーションに最適な選択肢となり、優れた結果をもたらします。