中古 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #293587256 を販売中
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ACCRETECH/TSK PG 300 RMウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、超平面と優れた品質を提供する精密加工システムです。自動マテリアルハンドリング、ラッピング、クランプ、検査など、さまざまな機能を備えたこのマシンは、半導体業界で優れた性能を提供します。TSK PG300RMユニットは、マシンヘッドを備えたマイクロプロセッサ制御ベースユニットを備えており、柔軟で正確な表面処理が可能です。マシンのラッピングステージは、精密制御されたスピンドルに取り付けられたダイヤモンドカップホイールで始まり、ウェーハ表面に優れた安定した平面を提供します。ラッピングパラメータは、幅広い表面仕上げ要件を達成するために調整可能です。ラッピング化合物は、超精密な研磨のために1ミクロン未満の厚さで適用されます。ラッピングに続いて、ウェーハはダイヤモンド研磨ディスク、または研磨布などのダイヤモンド工具アクセサリーを使用して研磨され、完全に平坦で超微細な表面を取得します。ACCRETECH PG 300RMは、自動ホッパーやキャリアなどの先進的なマテリアルハンドリングシステムを提供し、ラッピングおよび研磨段階からQA検査ステーションにウェーハを転送します。例えば、ホッパーは機械の研削ヘッドにウェハを積み込み、自動的に検査ステーションに積み込みます。この自動化された機械は、ウェーハの迅速かつ一貫した研削とラッピングを可能にし、欠陥の少ない非常に均一な表面をもたらします。あらゆるウエハの生産に最適なTSK PG 300RMは、ユニバーサルフィット機能を備えた汎用性の高い製品です。検査ステーションには、各ウェハの表面を精密に検査するための高性能デジタル顕微鏡が装備されています。最大1ミクロンのスキャン解像度で、常に最高精度を維持します。さらに、QAプロセスは、オペレータがウェーハパラメータを入力することができ、マシンがそれに応じてパラメータを調整するコンピュータ制御ツールを含みます。これにより、量産工程で高い精度を維持することができます。PG300RMウェーハ研削、ラッピング&ポリッシングツールは、優れた表面処理結果を提供するように設計された幅広い機能を提供します。自動化されたホッパーやキャリアから包括的なQA検査ステーションまで、機械は優れた品質を可能にし、欠陥レベルの低い超平面処理を効果的に行います。機械の多様性は最高の性能のための粉砕、ラッピングおよび磨くことのさまざまな組合せを可能にします。
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