中古 ABA FFU 1000 / 60 #9066951 を販売中
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ABA FFU 1000/60は、半導体デバイスの製造のための高精度ウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。この先進的な装置には、半導体材料の研磨および研磨作業で優れた結果を提供するように設計された一連のモジュールが含まれています。このシステムは、高精度の研削とラッピングヘッド、ラップマスター研磨ユニット、チップ検出器、多軸モーションコントロールマシンで構成されています。FFU 1000/60の研削およびラッピングヘッドは、半導体材料の研削およびラッピング作業中に優れた結果を提供するように設計されています。その先進的なデザインは、大きく均一な表面カットだけでなく、微細で精密な表面仕上げを可能にします。高精度モータにより駆動される回転ヘッドは、研磨湿式研削を利用して材料層を低減し、0。1ミクロン以下の材料厚を精密に切断することができます。ラップマスターモジュールは、半導体材料の正確なラッピングと研磨を提供するように設計されています。その高度なモーションコントロールツールは、均一な研磨結果を提供するために、ラッピングプレートを平行かつ軸方向に移動することができます。その振動運動はまた、ラップレートと加速度を正確に制御するように設計されています。ABA FFU 1000/60チップ検出器は、光検出技術を使用して、着信ウェハのサイズを検出および測定します。これにより、すべてのウェーハが均等に研磨されていることを保証するために、非常に正確な研磨速度が得られます。この資産はまた、欠陥のあるウェーハを識別し、その欠陥を決定することができます。FFU 1000/60のモーションコントロールモデルは、機器のすべての軸を正確に制御するように設計されています。この高度なシステムは、高精度のサーボモータとオープンループ制御ユニットを使用して、ウェーハの研削、ラッピング、研磨操作を制御します。このマシンは、ウェーハの歪みや振動を軽減または排除するように設計されています。ABA FFU 1000/60は、高品質のウェーハの製造に最適なオールインワンソリューションです。その高度な設計は、優れた表面仕上げ、精度、および性能を保証します。正確なチップ検出ツールと高精度のモーションコントロールアセットにより、すべての操作が最高レベルの品質で正確に実行されます。
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