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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCFN #9381866
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TEL / TOKYO ELECTRON

Alpha 303i-KVCFN

Furnace, 12" Process: DCS-HTO Heater type: FTP VOS-56-003 4 Zone With RCU Gases: N2, NH3, SiH2Cl
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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-KVCFN #9381864
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