中古 VON ARDENNE QV 1200 640 / STR 640 #9161126 を販売中

VON ARDENNE QV1200/STR640は、最先端の物理蒸着（PVD）スパッタリング装置です。このシステムは、さまざまな薄膜材料の製造において最高の精度と柔軟性を得るために設計されています。これは、デュアル片面回転ターゲットスパッタリングチャンバーと、材料蒸着プロセスをさらに制御するためのデュアル片面加熱傾斜ステージを備えています。さらに、ユニットには、堆積プロセスを最適化するための高度な制御および監視マシンが含まれています。QV1200/STR640スパッタリングツールは、高真空アセットを使用してチャンバーから酸素を除去し、優れた表面清浄性と結果としての効率を促進します。蒸着プロセス全体を高度なプロセス制御モデルで監視します。この装置は、リアルタイムで動作条件を制御することができ、蒸着速度、温度、真空を継続的に監視することができます。また、堆積プロセスを分析し、詳細なデータと分析を生成してプロセスをさらに最適化するための統合データ収集システムも含まれています。VON ARDENNEスパッタリングユニットの大きな特徴は、調整可能な作動圧力です。この独自の機能により、成膜プロセスを微調整し、最適なフィルム特性を実現します。さらに、-155°Cから1100°Cまでの幅広いプロセス温度を提供し、さまざまな基板に材料を堆積させることができます。一貫したフィルム特性を確保するために、機械は自動材料フロー制御ツールで設計されており、プロセスパラメータが変更されたときに材料の蒸着速度を調整できます。最後に、アセットには、自動シャットオフや緊急時の圧力リリースバルブなど、さまざまな安全機能が装備されています。このモデルには、チャンバーからの粒子を減らすのに役立つアルゴンガスのクッションを提供するための船上分離装置も含まれています。このシステムは、すべてのソースとツールを迅速に切断し、スムーズな運用と長期的な信頼性の高い使用を保証し、メンテナンスと保守を容易にするように設計されています。VON ARDENNE QV1200/STR640は、材料蒸着の様々な用途に最適な先進スパッタリングユニットです。その高度な技術は、蒸着プロセスを正確かつ信頼性の高い制御を提供し、優れた薄膜材料を可能にします。幅広いプロセス温度、調整可能な作業圧力などの高度な機能を利用することで、さまざまな薄膜アプリケーションに最高の品質と信頼性を提供します。