中古 VON ARDENNE CS 850S #9167930 を販売中

VON ARDENNE CS 850Sは、中型〜大面積の薄膜成膜用に設計されたスパッタ装置です。このシステムは、金属、誘電体またはセラミックコーティングの均一で一貫した層で基板をコーティングするように設計されており、ユーザーに特定のアプリケーションに合わせたさまざまなスパッタプロセスを提供します。CS 850Sは陽極酸化されたアルミニウムおよび鋼鉄で構成され、すべての部品は加圧された、ステンレス鋼の真空部屋の中に収容されます。チャンバーは直径12インチ、長さ18。5インチで、150 mTorrに簡単に避難できます。チャンバー上部には、直径9インチ、深さ3。5インチの蒸発/スパッタリング陰極があり、同時コーティング用に最大6つの円形基板を保持するように設計されています。チャンバーの下部には、4。5 「x 4。5」の空間を占めるマグネトロンスパッタリング源があり、理想的な蒸着速度とフィルム品質のためのエネルギッシュなスパッタリング環境を提供します。VON ARDENNE CS 850Sは、プロセス監視と調整のための統合されたタッチスクリーンモニターを備えたプライマリコントローラを備えています。500°Cまでの温度を可能にするRF暖房装置を備えています。蒸着速度、沈殿物の厚さ、均一性、粗さなどのプロセスパラメータをコントローラで変更できます。また、最大1 μ m/minまでの蒸着速度を制御することが可能で、パターン蒸着に連続モードを使用することができます。このツールには、基板温度コントローラ、最大6基板を処理するための資産、および操作と管理のためのいくつかのソフトウェアプログラムが付属しています。CS 850Sはユーザーフレンドリーに設計されており、さまざまな分野の科学者やエンジニアによって使用され、均一で質の高い薄膜コーティングを迅速かつ一貫して堆積させることができます。