中古 VEECO Spector #9394865 を販売中

VEECO/DEKTAK Spectorは、精密計測を専門とする有名な会社であるVEECOによって開発されたスパッタリング装置です。このシステムは、さまざまなマイクロエレクトロニクスチップデバイスの製造に使用され、お客様の運用ニーズに合わせたさまざまなスパッタツールが供給されています。VEECO Spectorユニットには、正確で再現性のあるパフォーマンスを保証する堅牢なメタルベースが付属しています。10ミリリットルから1大気以上の動作範囲で評価され、100ワットで動作し、幅広いプロセス能力を提供します。この機械は最高レベルのプロセス制御および信頼性を提供します。このツールは、薄膜成膜専用に設計されており、1つまたは2つの独立したスパッタリングヘッドを備えたプライマリ真空チャンバーを備えています。サンプル移動、プレスパッタリング、ポストスパッタリング、ポストプロセス用の独立したチャンバーを備えた広いプラットフォームを備えています。このアセットには、プレスパッタリング時の温度制御のオプションも含まれています。このモデルは、アプリケーション指向のスパッタリング操作と正確なターゲット配置を提供します。スパッタターゲットはホルダーに配置され、最小限の労力で1つの位置から別の位置に簡単に移動できます。このプラットフォームは、タイトな蒸着制御による反復可能なスパッタ性能のために設計されており、複数の層を積層して多層膜を作成する、または大面積ツールや高アスペクト比の構造などの非標準の基板に使用するなど、さまざまなプロセスに使用できます。DEKTAK Spectorは生産性を念頭に置いて設計されています。モジュール化された設計で、部品を簡単に交換したり、機器に追加したりすることができます。このシステムには、チャンバーを高速かつ効率的に排出するための高速ポンプ式の一次真空チャンバーも含まれています。さらに、スパッタヘッドは、低抵抗フィルムを堆積する際にターゲットの均一性を確保するために、独自の回転可能で傾斜可能な設計を採用しています。最後に、Spectorは完全に自動化されています。これには、組み込みのパラメトリックプログラミング、自動調整機能、アラーム通知機能が含まれており、プロセス中に潜在的な問題が発生する可能性があります。このユーザーフレンドリーなユニットは、チップ製造業界に革命をもたらし、世界中の企業に広く利用されています。