中古 VEECO Spector #9115806 を販売中

VEECO/DEKTAK Spectorは、薄膜を堆積するように設計されたスパッタリング装置です。半導体、マイクロエレクトロニクス、データストレージメディア、医療技術、光学、エレクトロニクス、薄膜研究などの分野で応用されています。VEECO Spectorは、PVD（物理蒸着）システムです。真空チャンバーで動作し、2つのスパッタ源を備えています。これは、垂直スパッタリングユニットと平面スパッタリングマシンの2種類のマシンの特徴を兼ね備えています。平面ソースと垂直ソースの両方を使用して、異なる材料を堆積することができます。DEKTAK Spectorはマルチターゲットモジュラー設計を採用しており、多種多様な材料と幅広いターゲットの成膜が可能です。Spectorは幅広い構成を提供し、複数のターゲットホルダーとサンプルホルダーを含むように拡張することができます。これは、任意の順序で複数の薄膜を堆積させることができ、複数の材料ターゲットをすべて1回の実行で。このツールは、大きな（43。3インチ）作業エリアを持ち、最大11インチのウェーハまたは基板を堆積することができます。部屋の温度は25から40°Cに維持されます。それはプロセスのよりよい制御のための8つのチャネルの源の冷却資産が装備されています。VEECO/DEKTAK Spectorを使用すると、金属、合金、複合材料、酸化物、誘電体、金属などのさまざまな材料を酸化物オーバーレイで堆積することができます。モデルの容量は高く、優秀な沈着率および均等性を提供します。薄膜用途の高速生産にも適しています。VEECO Spectorはプロセス制御を念頭に置いて設計されており、複雑な成膜作業を自動化し、高速でも薄膜成膜の均一性と再現性を確保します。機器全体のユーザーインターフェイスソフトウェアにより、エンジニアまたは技術者はすべてのパラメータを制御し、プロセスデータを表示し、レポートを生成できます。Database Copier機能は、複数の基板およびターゲット情報に簡単にアクセスできるため、長時間の実行やジョブにわたってセットアップ情報をそのまま維持できます。DEKTAK Spectorは、高品質の薄膜を精度と均一性で堆積させる効率的な方法です。大型ウエハや基板の取り扱いが可能で、大規模薄膜製造に最適です。広範な機能とシステム全体のオートメーションを備えたSpectorは、さまざまな業界で精密な薄膜成膜を実現するための理想的なツールです。