中古 VEECO Spector #293743006 を販売中

VEECO/DEKTAK Spectorは、薄膜成膜に使用される強力で精密なスパッタリング装置です。太陽光発電セルから高度なガスセンサーシステムまで、さまざまな産業システムで使用されています。その中心には、VEECO Spectorは、配電システム、スパッタリング源、基板ホルダー、シールドおよびポンプを備えた大型真空チャンバーで構成されています。真空ユニットは、チャンバーから空気中の汚染物質を除去するように設計されており、薄膜成長のための正確な環境を提供します。送電機はスパッタリングガンを独立制御することができ、薄膜の精密な蒸着を可能にします。スパッタリング源は、電子を加速してアルゴンガスのプラズマを形成するために使用される電源、フォーカスコイル、磁石で構成されています。これにより、多数のイオン化された原子が生成され、それが望ましい材料を堆積させて基質を爆撃することができる。放電条件やパラメータを変更すると、異なる材料を基板にスパッタすることができます。基板ホルダーは、基板の温度を正確に制御して監視するだけでなく、薄膜の堆積に正確な表面を提供することができます。シールドは、基板表面に均一な堆積を提供します。最後に、チャンバーは、環境と試料を汚染から保護するために、強力な真空ポンプで密閉されています。工具の真空レベルを監視することで、蒸着プロセスを正確に制御することができます。結論として、DEKTAK Spectorは、多くの業界で薄膜成膜に使用される高精度スパッタリング資産です。真空モデル、配電、スパッタリング源、基板ホルダー、シールド、ポンプで構成されています。これらの要素の組み合わせにより、基板表面における薄膜の正確で均一な堆積が可能になります。