中古 VEECO Spector HBDG #9236498 を販売中

VEECO Spector HBDGは、4つの異なるモジュールで構成される先進的で最先端のスパッタリング装置です。欠陥の少ないナノマテリアルやデバイスを作成するために設計された高性能スパッタリングシステムです。Spector HBDGの4つのモジュールは、優れたエッチング性能を提供し、幅広い材料とプロセスに対応します。VEECO Spector HBDGのコアは、高密度、高スループット（HD/HT）モジュールであり、コスパッタリングとイオンミリングの両方が可能です。このモジュールには、2つのデュアルマグネットスパッタリングチャンバー、2つの高速電源、1つのデュアルビームイオン源が含まれており、1回の実行で最大100層のスパッタフィルムを可能にします。HD/HTモジュールを使用すると、シーケンシャルスパッタリングも可能になり、複雑な多層構造を単一の効率的なプロセスで堆積させることができます。2つ目のモジュールは、高真空デュアルマグネトロンスパッタリングチャンバーを利用した低真空スペクトル（LV/SP）モジュールです。このモジュールは、非常に薄膜スパッタリングに最適化されており、酸化ハフニウムやタンタル窒化物などの特殊フィルムのスパッタリングに特に役立ちます。また、LV/SPモジュールは光学ウィンドウを改良し、スループットを向上させ、スパッタ精度を向上させます。3番目のモジュールはLow Stress Sputtering （LSST）モジュールです。このモジュールは、低い応力と高い耐摩耗性を有する層の堆積のために設計されています。高エネルギーLSSTモジュールは、トータルイオンフラックスを増加させ、粒子表面汚染を低減するために、独自の二重積層ターゲットユニットを使用しています。第4および最終モジュールは急速な熱アニーリング（RTA）モジュールです。このモジュールは、熱処理とスパッタリングを同時に行うことができ、2つの1つのプロセスを提供し、総処理時間を劇的に短縮します。RTAモジュールは、高周波発生器を使用して短時間で高温を達成し、特許取得済みのトリプルアノード設計により、層の均一性と接着性が維持されます。要約すると、Spector HBDGは、4つのユニークなモジュールを使用して、欠陥の少ないナノマテリアルやデバイスの効率的な製造を可能にする高度で精密なスパッタリングマシンです。このツールは、材料特性を改善し、処理時間を短縮するために、多層処理、低応力スパッタリング、および急速なサーマルアニーリングが可能です。