中古 VEECO Spector HBDG #293645262 を販売中

VEECO Spector HBDGは、膜厚、蒸着速度、均一性を正確に制御し、高品質の薄膜を作成するために設計された高性能スパッタリングシステムです。システムは、ベースチャンバー、ターゲットチャンバー、高圧電源、真空ポンプで構成されています。ベースチャンバーは、3つのマグネトロンスパッタリング源を取り付けるための長方形の形状の真空チャンバーです。スパッタリング源は、可能な高電圧電源に接続されており、電圧を正確に制御できます。ターゲットは、ターゲットを低温に保つために絶縁壁と冷却された内部棚を含むターゲットチャンバーに取り付けられています。チャンバーを2つの真空ポンプに接続し、任意の任意の圧力に調整することができます。スパッタリングプロセスの開始時に、チャンバーは低圧に避難し、その温度が必要なレベルに達するまでターゲットが加熱されます。ターゲットは、高圧電源によって作成された強力な電場にさらされ、電子が放出される。電子が標的の表面に到達すると、標的物質の原子が排出され、イオン化プラズマが形成されます。プラズマは高電圧にさらされて加速され、基板に向かって移動するイオンのビームが生じます。スパッタ蒸着プロセスは、分光計や他の検出器の助けを借りて慎重に監視されます。これにより、プロセスを調整して薄膜の品質を最適化し、厚さの均一性を向上させることができます。Spector HBDGは、高品質で均一な薄膜を作成するのに最適です。太陽電池、薄膜トランジスタ、MEMSデバイス、ディスプレイ技術など、さまざまな用途で使用されています。