中古 VEECO / SLOAN Spector #9205193 を販売中

VEECO/SLOAN Spectorは、薄膜層を基板表面に堆積させるために使用される物理蒸着（PVD）技術の一種であるスパッタリング装置です。これは、真空チャンバーとスパッタリングガンの2つの主要なコンポーネントで構成されています。真空チャンバーは密閉された絶縁されたスペースです。原子や分子が自由に動き、蒸気相を形成できるように、チャンバー内部の圧力を低減するように設計されています。堆積する材料に応じて、真空のさまざまな成分を最適化することができます。スパッタリングガンは、堆積する材料、原子源、電源、シールド、ガスインジェクタで構成されています。原子源は通常スパッタリングを促進するためにアルゴンやキセノンなどのガスであるが、ターゲットは通常、銅やアルミニウムなどのスパッタリングする材料から作られる。電流は原子源を介して送られ、ガスがイオン化してターゲットに向かって加速することを可能にします。シールドは、基板などのシステムの他のコンポーネントをイオンの直接砲撃から保護します。ガスインジェクタは、窒素などの追加のガスをユニットに供給し、ターゲットが過熱するのを防ぐのに役立ちます。ターゲットが高エネルギーにさらされると、材料の原子はその表面から脱落します。これらの原子は基板の表面に向かって推進され、そこで堆積して望ましい物質層を形成します。スパッタリングガンのパワー、ガスの圧力、プロセスの持続時間を変更することにより、堆積膜の厚さを調整することができます。VEECOスパッタリングマシンは、半導体、金属、誘電体、絶縁体など、幅広い材料の高精度な加工を実現するために使用されます。その高い蒸着速度と精度により、光電子、太陽電池、半導体用途で広く使用されており、微細・ナノ加工や多層薄膜デバイスの製造においてコア部品となっています。