中古 VEECO / IONTECH Spector #9033598 を販売中

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ID: 9033598
Ion beam deposition system Pumping system: CTI-400 On Board cryo pump Leybold mechanical pump Chamber: vertical split bell jar, 42" diameter x 36" high Target holder: 4 each 10 x 14" diameter Sourcer 32 Ion Beam system manager (1) RF12 cm ion beam assist source (1) RF16 cam ion beam deposition source (2) RF neutralizers (2) Gas flow controllers.
VEECO/IONTECH Spectorは、均一な薄膜やコーティングを製造することで有名な高性能スパッタリング装置です。このシステムは、半導体、メモリ、光電子工学、表面工学、研究開発、産業用途など、さまざまな産業に適した自己完結型の真空蒸着ツールです。VEECO Spectorは、複数の電子ビームガン(マルチマグネトロン)と高度なモーションコントロールおよびオートメーション技術を組み合わせて、高品質のコーティングを効率的に作成します。これらの銃は、単一のチャンバー設計に統合されており、手動での介入を最小限に抑えて、迅速かつ簡単にターゲットのロードとアンロードを可能にします。高効率のモーションコントロール技術により、均一な粒子分布と蒸着速度が保証され、高度な真空技術により、欠陥の少ない高い処理速度が実現されます。このユニットには、さまざまなプロセス制御および分析ツールが装備されており、ユーザーはリアルタイムでレイヤーパラメータを監視および調整することができます。これらのツールには、堆積プロセスを効率的に監視および分析するためのデータロギングおよび分析ツールであるSENTechなどのソフトウェア、およびレイヤーマッピングマシン(LMS)およびRange of Motion (ROM)ツールが含まれます。さらに、IONTECH SpectorにはLoad Lockツールが搭載されており、真空を破壊することなくサンプルをアセット内およびアセット外に転送できるため、コーティング工程での時間を節約できます。最終的に、Spectorは、フラットパネルを含むさまざまな基板を実質的にあらゆる形状または輪郭に提供することができますが、洗練されたガス処理により、正確なガス供給と制御が可能になり、優れたフィルムの均一性と欠陥性能が得られます。プロセス制御機能により、ユーザーは正確かつ確実に均一に近いフィルム層を生成し、高度なプロセス最適化と再現性を実現します。全体として、VEECO/IONTECH Spectorは、高度なコーティング生産のための印象的な機能と機能の範囲を提供し、それは様々な業界のための理想的な選択肢となります。強力な銃およびモーションコントロール技術により、信頼性と均一な蒸着速度が保証されます。また、高度なプロセス制御および分析ツールにより、高精度で再現性の高い薄膜層を実現します。さらに、様々な基板を実質的にあらゆる形状で扱うことができるため、多数の生産および研究アプリケーションに最適です。
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