中古 VEECO INSTRUMENTS VCE.PVDI C-2 #9209412 を販売中

VEECO INSTRUMENTS VCE。PVDI C-2スパッタ装置は、幅広い用途で薄膜で基板のコーティングを可能にするために開発された信頼性の高い、費用対効果の高いシステムです。このユニットはDC電源を使用し、最適な蒸着速度を得るために調整可能な電圧と電流設定を備えた直流（DC）を提供します。このマシンは、基板の上部と下部の両方をコーティングするために、ツールの下部と上部に位置する2つのマグネトロンスパッタ源の助けを借りて、片面スパッタリングと両面スパッタリングの両方をサポートします。基板は静電クランプで固定され、正確な配置と均一な成膜が可能です。また、スパッタプロセスを中断することなく簡単に基板の変更のための容易なアクセスを可能にする自動タレットを備えています。このアセットは、基板バイアス、固定電力、および電流および電圧フィードバック機能などの複数のプロセスおよびレシピ制御オプションを提供し、フィルム構造と厚さを正確に制御します。酸化物、窒化物、金属、誘電体など様々な蒸着タイプをサポートするスパッタガス設定の広い範囲を持っています。また、内蔵のインターロックモデル、圧力制御ユニット、緊急シャットオフなどの追加の安全機能も備えています。VCE。PVDI C-2は150mmまでのサイズの基質を受け入れることができ、70mTorrまでの低圧のために適しています。カスタム真空チャンバーは、優れた蒸着条件をもたらすように設計されており、単一のポンプサイクルの後に1 × 10-6 torrの圧力を達成することができます。最後に、装置の効率的なチラーは、蒸着チャンバーとソースの効率的な冷却を可能にします。全体として、VEECO INSTRUMENTS VCE。PVDI C-2は、幅広い用途のための薄膜で基板のコーティングを可能にするように設計された信頼性の高い、費用対効果の高いスパッタリングシステムです。高度な制御オプションとプロセス設定、優れた圧力と真空機能を備えているため、小型基板を高スループットでコーティングするのに最適です。