中古 VEECO IBS-2 #9220228 を販売中

VEECO IBS-2は、VEECOによって製造された革新的なスパッタリング装置です。IBS-2は、パルスDCおよびダイナミックスパッタリング技術を使用して、金属または絶縁体の超薄膜を基板ウェーハまたはさまざまな用途のオブジェクトに堆積させます。VEECO IBS-2システムは、最大6インチのサイズの基板に最適で、スパッタされている合金または化合物に応じて精密で反復可能な膜厚の堆積を可能にします。それは要求が変わると同時にフィルムの厚さを調節する機能の顧客にインターフェイス層の堅い制御を、与えます。パルスパワーユニットを内蔵することで発生する磁場により、スパッタリングプロセスが大幅に向上します。また、高精度な真空圧、プラズマ源、強力な炭化水素系プラズマ発生器、各種基板に対応できる基板段を維持するために中央真空チャンバーを内蔵しています。IBS-2は優れたエッチプロファイル制御を提供し、正確なフォトレジストパターンを作成できます。プラズマ源は、様々なガス混合物を収容することができます。アルゴン、窒素、酸素、等、スパッタ率、フィルムの付着および抵抗を最適化するのにそれぞれ使用することができます。炭化水素系プラズマ発生器は、スパッタフィルムの特性を最適化し、基板との互換性を向上させるために調整することができます。また、VEECO IBS-2はセンサー技術を使用して、ツールが生涯にわたってプライム状態に保たれるようにしています。また、リモート操作の利便性とセットアップと構成を支援するグラフィカルユーザーインターフェイスを提供しています。要するに、IBS-2は、従来のスパッタリング技術では難しい精度と制御のレベルで、超薄膜を基板に堆積させることができる堅牢で信頼性の高いスパッタリングアセットです。これは、さまざまなアプリケーションに必要な最高品質の出力を探している企業に最適なソリューションです。