中古 VEECO / CVC CX 6 #9279634 を販売中

VEECO/CVC CX 6は、各種材料の薄膜成膜に使用されるスパッタ装置です。このシステムは、工業生産および研究用途向けに設計されており、直流（DC）マグネトロン、マルチターゲット構成、コンピュータスキャンおよび同期基板処理を備えています。CVC CX 6は、低角度の均一膜から高率のコンフォーマルフィルムまで、幅広い蒸着速度で堆積することができる高度なDCマグネトロンを使用しています。複数の材料を1サイクルで簡単に堆積できるマルチターゲット構成を備えています。また「、eVec」と呼ばれる機能を備えており、誘電層で基板に堆積する際の基板容量を最適化することができます。VEECO CX 6は、高精度かつ再現性のある成膜を可能にする自動コンピュータスキャン機能も備えています。コンピュータスキャンにより、特定の基板内の特定の領域を正確にスパッタし、その領域が均一にスパッタされるようにすることができます。このマシンには、スパッタリングプロセスに対する基板処理の同期を担当するコントローラも含まれています。これにより、サイクルタイムの間に時間が無駄にならないようになります。CX 6にはフレキシブルな真空ツールが搭載されており、材料に応じてさまざまなレベルの真空圧力を使用できます。このアセットには強力な1000W DCソースも搭載されており、あらゆるアプリケーションで大量のパワープロファイルとパルスプロファイルを生成できます。VEECO/CVC CX 6は、さまざまな薄膜を正確に製造できる信頼性の高い産業用スパッタモデルです。コンピュータスキャン、マルチターゲット構成、および同期基板処理の組み合わせにより、産業および研究用途に理想的なスパッタ装置となります。