中古 VEECO / CVC CX 6 #9139680 を販売中

VEECO/CVC CX 6は、半導体および電子部品をコーティングするように設計された物理蒸着（PVD）スパッタリング装置です。このシステムはポリゴンスキャンユニットを採用しており、ターゲット材料に均一な薄膜を迅速かつ正確に生成することができます。このマシンは、300mmのドリフトチューブに接続され、DCまたはRFによって駆動された大きなスパッタチャンバーで構成されており、信頼性が高く一貫したスパッタ蒸着が可能です。このツールは、モーター式の調整可能なロードロックを使用して、生産前に蒸着チャンバから水分やその他の不純物を除去するための迅速かつ効率的な前真空処理を可能にします。CVC CX 6には、交換可能なターゲットポジショナがあり、さまざまなタイプのスパッタリングタスクに対応するためにターゲット材料を迅速に切り替えることができます。このアセットは、簡単な操作のために設計されており、直感的なコントロールパネルを使用すると、RF電源、ターゲット角度、スパッタレートなどのスパッタパラメータを簡単にプログラムおよび制御できます。また、オプションの表面実装可能な内蔵温度コントローラを備えており、蒸着チャンバ内の温度調節が可能です。温度はコントローラーによって正確に制御することができ、より均質なスパッタ層を可能にします。さらに、VEECO CX 6装置には、幅広い安全機能が搭載されています。外的なアクセスおよび自己ロック部屋のドアに対する保護鉄骨フレームの監視はユーザーがスパッタプロセス中の安全な環境を維持することを可能にします。また、CX 6はキー・インターロック・システムを備えており、認可された人員だけがユニットにアクセスできるようにしています。全体として、VEECO/CVC CX 6は信頼性が高く、ユーザーフレンドリーなスパッタコーティング機であり、さまざまな材料で均一で高品質の薄膜を製造することができます。効率的で正確なポリゴンスキャンツール、調整可能なロードロック、温度コントローラにより、CVC CX 6は半導体および電子部品のコーティングに最適です。