中古 VEECO (2) Doors for Spector #9229856 を販売中

VEECO （2） Doors for Spectorは、薄い層の材料でさまざまな表面をコーティングするために設計されたスパッタ装置です。主に金属、誘電体、その他の化合物などの幅広い材料を様々な基板に堆積させるために使用されます。このシステムは、高精度で優れた画層品質のために設計されています。単位は2つの主要な部品から成っています；プロセス部屋および高周波RFは容量的に電源を結合しました。プロセスチャンバーには、下部に1つ、中央に1つ、上部に1つの3つの内部「ドア」が含まれています。これらのドアは、基板の積み下ろし、真空プロセスチャンバー内の大気の操作、準備媒体の変更、堆積部品の積み下ろしに使用されます。下部のドアはサンプル基板の導入に使用され、搬送ロボットはそれらをセンタードアに運びます。センタードアはプレデポジションプロセス用、トップドアはデポジションコンポーネントの導入用です。高周波RFの容量的に結合された電源はスパッタリングプロセスを活動化させるために責任があります。パワーレベルを制御するために使用でき、望ましいスパッタリングプロセスを達成するために高い発電を発生させることができます。また、成膜プロセス中に微調整を行うことで、得られた基板の品質を確保することができます。VEECO （2） Doors for Spector toolは、さまざまな基板上の材料の正確なコーティングを提供する、汎用性の高い効率的なスパッタリング資産です。金属、誘電体、その他の様々な化合物を含む任意の組成物の薄い堆積層を生成するのに最適です。このモデルは、ユーザーがスパッタリングプロセスのパラメータを簡単に設定できるソフトウェアアプリケーションによって制御されます。さらに、3つの内部ドアを使用することで、機器全体を再構成する必要なく、基板や成膜材料を素早く簡単に変更できます。