中古 VARIAN XM 90 #9077097 を販売中

VARIAN XM 90は、薄膜材料をサブアングストロムレベルに堆積させるために設計された精密スパッタリング装置です。半導体加工および計測用途向けに薄膜を製造するための非常に汎用性が高く効率的なプラットフォームです。VARIAN XM90システムは、回転する水冷ターゲット、およびガス持続およびDC/RFソースを含む一連の異なるスパッタリング源を使用しています。これらはすべて個別に制御して、さまざまな蒸着可能性を提供できます。XM 90は、複数のIOとユーザーインターフェイスを備えたコントローラユニットで構成されており、操作が容易です。このコントローラを使用すると、ターゲット回転速度やチャンバー圧力などのパラメータを設定するだけでなく、薄膜や基板特性に関するフィードバックを提供することができます。XM90には、電力、温度、および部分圧力を監視するためのセンサーやコンポーネントも含まれており、これにより正確な蒸着制御が可能です。VARIAN XM 90は、清潔で汚染のない動作を維持するためにガス入口と排気ユニットを内蔵しています。また、チャンバー内の一定の圧力を維持し、リアクタントガスの分布を制御することができるプログラム可能なスロットリングマシンが含まれています。VARIAN XM90は、-60°C〜+300°Cの温度範囲で動作するように設計されており、さまざまな特性を持つ材料を堆積することができます。XM 90には、ユーザーの希望する薄膜蒸着要件に応じて複数の構成が付属しています。ロータリーと平面の両方のターゲットシステムと、金属、酸化物、ダイヤモンドのような炭素、および誘電体などのターゲット材料の範囲をサポートしています。このツールは、同時に複数の層の堆積を可能にするように設定することもできます。全体として、XM90は高耐久性で信頼性の高いスパッタリングアセットで、薄膜をサブアングストローム精度で堆積させることができます。その汎用性と効率的な設計は、精密な薄膜堆積だけでなく、簡単な操作とメンテナンスを可能にします。VARIAN XM 90は、複数の材料を同時に沈殿させることができるため、薄膜加工のための強力なツールです。