中古 VARIAN XM 90 #9005924 を販売中

VARIAN XM 90は、航空宇宙、産業および医療関連アプリケーション用のコーティングの開発と製造のために特別に設計されたスパッタ装置です。高エネルギーメタル、混合金属、非金属ターゲット材料とスパッタ条件の範囲を使用して、プロセスエンジニアは、正確な均一性と品質のさまざまなコーティングを生成することができます。VARIAN XM90は、4つのペントード装置を提供し、スパッタリング、イオン化スパッタリング、イオンアシストスパッタリングなどの基板のグラデーションコーティングを可能にします。このシステムには、デジタル制御されたガスラインが含まれており、プロセスのオペレータは、低圧で動作しながらガス圧力を迅速かつ突然変化させることができ、再現可能なプロセスを確保します。セラミックターゲットポジショニングユニットは、基板上の照準領域の精度を確保するために設計されています。このマシンには、基板の損傷を防ぐために使用される安全回路と、問題をすばやく特定して解決するためのエラー報告機能が含まれています。XM 90にはコンパクトな反応チャンバーが装備されており、プロセスエンジニアは最小限のフットプリントで高品質のコーティングを開発することができます。ユニークな反射パネルは、チャンバードアがしっかりとロックされていない場合、工具へのプロセスガス供給を遮断する安全インターロックとともに、外因性エネルギー源からチャンバインテリアを隔離します。XM90には、Modbus Interfaceを搭載したリモートオペレーションコンソールも付属しており、プロセスオペレーターはプロセスを開発し、デスクからリモートで監視することができます。フレキシブルプロセススケジューリングも備えており、さまざまな種類のレシピを非同期かつ順番に実行できます。このアセットは、監査およびレポート機能も提供し、プロセスエンジニアが以前のプロセスをレビューし、現在のプロセスを評価、評価し、プロセスの変動を排除することができます。VARIAN XM 90は、高品質のコーティング材料の大量生産のために設計されており、さまざまなコーティング用途に再現性と信頼性の高いプロセスパラメータを提供します。航空宇宙、産業および医療用途に最適なこのスパッタリングモデルは、プロセスエンジニアが高品質のコーティングを迅速かつ効率的に開発するのに役立ちます。