中古 VARIAN XM-2000 #13670 を販売中

VARIAN XM-2000は、製品の最高性能を達成するために必要な均一な蒸着をユーザーに提供するために設計された高性能スパッタリング装置です。VARIAN XM 2000は、信頼性が高く、堅牢で安定したプラットフォーム上に構築されており、ラボと生産環境で一貫したスパッタリング結果を提供し、信頼性とパフォーマンスに最適です。このシステムは、最新のPVDプロセスチャンバー設計と高度なスパッタソースなどの最新技術を組み合わせて、材料の物理的および化学的特性を最適なユーザーパフォーマンスに最適化しています。XM-2000ユニットは、薄膜蒸着のための最高の要件を満たすように設計されています。その中心には、機械自体にデュアルアクションのマグネトロンスパッタリングツールが装備されています。このスパッタリングアセットは、多層堆積物、低圧PVD （LPPD）、および大面積コーティングなど、さまざまな複雑な堆積プロセスを可能にします。さらに、高度なスパッタソースは、高い電力密度、高スループット、および低コスト動作を提供する機能を備えています。また、スパッタパラメータも調整可能なため、蒸着速度、スパッタ圧力、基板温度を簡単に調整でき、蒸着プロセスの究極の制御が可能です。XM 2000には、高性能ラフティングポンプ、メカニカルポンプ、ターボポンプ、オイル拡散ポンプを備えた高効率真空装置が含まれています。このマルチバキュームシステムは、最高品質の薄膜を製造するために不可欠なクリーンで効率的な作業環境を提供します。このユニットには、室圧、温度、漏れ検出などのさまざまな高度な監視機能、およびスパッタパラメータを記録するデータロギングマシンが装備されています。監視されたチャンバー条件により、ユーザーはその結果を正確に監視および測定することができ、堆積プロセスに関する情報に基づいた決定を行うことができます。VARIAN XM-2000スパッタリングツールも使いやすく、使いやすいグラフィカルインターフェイスを備えています。これにより、スパッタリングアセットの迅速かつ簡単なセットアップと最適化が可能になり、さまざまな自動ユーティリティにより、発生する可能性のある問題のトラブルシューティングが容易になります。さらに、このモデルは、接地やインターロックなどの自動安全機能、およびオペレータとシステム自体を保護するための緊急電源オフ（EPO）装置を備えています。これらの機能を備えたVARIAN XM 2000は、均一で高性能な薄膜を製造するための理想的なスパッタリングユニットです。