中古 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MBB 830 #9274368 を販売中
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ID: 9274368
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
Sputtering system, 8"
CTI-CRYOGENICS OB-8
(3) Chambers
TiN
2000 vintage.
VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MBB 830は、薄膜、R&D、半導体/エレクトロニクス業界の様々な用途に適した高度なスパッタリング装置です。ガラス、シリコン、リソグラフィーレジスト、プラスチックなどの基板に超薄膜を堆積させるために特別に設計されています。TEL MBB 830は、マルチターゲット・マルチソース・スパッタリングシステムを採用し、従来のスパッタリングシステムの最大10倍の高速蒸着速度を実現しています。これにより、非常に効率的なフィルムの成長と比類のない品質を可能にします。VARIAN MBB 830は、低圧、不活性ガス環境を利用して敵対的な環境の影響を最小限に抑えるために、統合された真空密閉チャンバーを備えています。これにより、安全で安定した一貫したスパッタリングプロセス制御が可能になります。さらに、ユニットは、ユーザーの利便性のための十分に設計されたコントローラとアクセサリーの範囲を持っています。TOKYO ELECTRON MBB 830の超高精度プラットフォームは、多層フィルム成長などの複雑な動作を可能にし、静電気を最小限に抑えるための帯電防止ベースプレートを内蔵しています。また、金属、合金、酸化物などのスパッタターゲット材料の広い範囲を可能にし、数ナノメートルから数百ナノメートルの厚さまでのフィルムを製造するために使用することができます。MBB 830は、スパッタレート、温度、圧力を変更するだけで、フィルムの材料組成を調整できる自動調整および最適化機能も備えています。さらに、このツールは高出力の超低ノイズマグネトロンを備えており、膜厚と組成を例外的に制御するだけでなく、アセットが常に沈着パラメータを監視および調整できるフィードバック機構も備えています。VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MBB 830は、直感的な制御機器だけでなく、オンボードのデータ収集や分析ツールを備えた使いやすいモデルです。これにより、フィルムパラメータを正確かつ迅速に調整し、望ましい結果を得ることができます。TEL MBB 830は、薄膜、R&D、半導体/エレクトロニクス業界における多くの用途に適した薄膜の成膜に不可欠なツールです。VARIAN MBB 830は、統合された多目的スパッタリングシステム、マルチターゲット、マルチソースシステム、自動調整および最適化技術、および幅広い互換性のある材料およびプロセスパラメータにより、比類のない性能、耐久性、および使いやすさを提供します。これにより、東京エレクトロンMBB 830は、あらゆるラボや工場の重要な構成要素となります。
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