中古 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MBB 830 #9274362 を販売中

VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MBB 830は、熱電流と直流のマグネトロンスパッタ蒸着プロセスの両方を実行できる強力なスパッタリング装置です。この汎用性の高いシステムは、光学活性テラヘルツフィルム、金属および半導体フィルム、ハイエンド光学部品用コーティング、および電気部品の製造など、さまざまな用途に最適です。TEL MBB 830の設計は、安全で信頼性の高い操作を保証します。スパッタリングプロセスを保護し、含むために炭素フッ化物のソース容器の有無にかかわらず使用できるユニークなセラミック容器が含まれています。最適な安全のために、ユニットには複数の安全機能が含まれています。VARIAN MBB 830には、緊急停止/リセットボタン、エンクロージャ・インターロック、温度検出装置、過圧リリースバルブが装備されています。MBB 830は、ビューポートと12位置のウェハカセットを備えた標準的な「ロードロック」スパッタリングチャンバーを使用しています。この設計は、大規模な成膜だけでなく、小規模研究開発の目的にも最適です。また、東京電子MBB 830は、非反応性（AlやSiなど）と反応性（酸化物など）のスパッタリングガスの両方で最大限のフィルム精度と均一性を実現することができます。このマシンには、高度でユーザーフレンドリーなコントロールコンソールも付属しています。これにより、ユーザーは堆積ジョブをプログラムし、リアルタイムで進捗状況を監視することができます。ウエハの搬送、チャンバー圧力の自動化、蒸着精度と再現性を向上させる反応ガスの付加を可能にするアクティブパッケージを搭載しています。VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MBB 830には、優れた成膜結果を得るためのさまざまな工程ツールや材料も含まれています。これには、機械式パワーフィーダー、低温ポストアニーリングチャンバー、および高温ベーキングチャンバーが含まれ、これらはすべて特定のプロジェクトのニーズに合わせてカスタマイズできます。さらに、このツールは、平面、回転、線形ソースなどの多数のスパッタリング源を操作することができます。要するに、TEL MBB 830は、複数の安全機能とプロセスツールを備えた信頼性の高い柔軟なスパッタリングアセットで、最高の精度と再現性を実現します。大型光学活性フィルム製造から小規模研究開発プロジェクトまで、幅広い用途に最適です。