中古 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MB2-830 #67592 を販売中

VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-830は、薄膜の研究・製造用途向けに設計されたスパッタリング装置です。この汎用性の高いシステムは、大小両方の部品のために設計されています。マグネトロンスパッタリングを利用して、他の蒸着法よりも高い蒸着速度、効率、および薄膜の均一性を可能にします。それはTELからのMBのプラットホームに基づいており、高い熱保護、長い生命および速い回転時間を特色にします。TEL MB2-830は、ユーザーのアプリケーションに最適なスパッタリングユニットを作成するための構成可能なコンポーネントの豊富なコレクションを持っています。これらのコンポーネントには、基板とサセプター、マグネトロン位置アセンブリ、平面コイル、不活性ガス雰囲気が含まれます。大型部品の効率的なスパッタリングを可能にするために、さまざまなサイズと形状があります。このマシンは、1〜50kHzの振動周波数と設定可能なスパッタガスフロー機能を使用して、電源とコントローラを介して動作します。パワーレベルは20〜500 Wの間で調整可能です。その冷却開口部は密閉されており、スパッタ操作中の汚染を防ぎます。均一な薄膜成膜のために、VARIAN MB2-830は多空間の均一性モニタリングツールを備えています。このアセットは、位置センサとフォトセル検出器を使用して、正確な均一性測定を可能にします。また、大きなサンプルを回転させるための横方向スキャン機能も備えており、より大きな均一性の分野を可能にします。MB2-830は、サブ低圧、低圧、媒体から高圧の真空モードの範囲で動作することができます。その動作温度は室温から800°Cまでの範囲で、暖房機能を備えています。さらに、このモデルはクラスIまたはクラスIIの環境要件に準拠しています。東京電子MB2-830は、最適なサイクリング性能を確保するため、高度なインラインクリーニングシステムとインテリジェントガスモニタリング装置を搭載しています。これらのシステムは、コンポーネントの継続的な、安全かつ一貫した洗浄だけでなく、正確なガス監視レベルを提供します。全体的に、堅牢で汎用性の高いVARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-830スパッタリングシステムは、スパッタリング操作の便利で信頼性の高い効率的な手段を提供します。これは、高品質の薄膜蒸着を保証するために、広範な構成可能なコンポーネントと多くの高度な機能を提供します。さらに、それは適用される産業規則の最大限の安全そして承諾を保障します。