中古 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9100777 を販売中

ID: 9100777
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
WSIX CVD System, 8" (3) Chamber (L/R/C) System DCS-WSIX Process specification (2) Chambers (2) Loadlocks (2) Cassettes (2) MKS Baratron Water pressure: 5 kg fc m2 Water flow: 33 litre / min Water temperature: 15-25° C General exhaust volume: 3.2 m3 / min With touch panel display Monitor Keyboard Mouse Turbo pump and dry pump Gas: WF6 5 SCCM, DCS 500 SCCM, (2) Ar 200 SCCM, Ar 100 SCCM, ClF3 500 SCCM Power supply: AC 208 V, 150 Hz, 3 Phase, 100 kVA 1997 vintage.
VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730は、薄膜とコーティングの信頼性の高い成膜用に設計されたスパッタリング装置です。このシステムは、簡単な設定調整、便利なデータ取得、レシピ開発を可能にする統合オペレーティングパネル(OP)を利用しています。TEL MB2-730は独自のマグネトロンクワッド構成により、1つのソースから4つのスパッタリングアークを作成し、迅速かつ効率的な薄膜蒸着を可能にします。各スパッタリングアークは、異なる材料を堆積させるために使用され、機械は一度に複数の層の堆積を行うことができます。電磁コイルは、正確な電離度を制御するために正確に調整することができます。VARIAN MB2-730のチャンバーは、エアパージとデバイス冷却技術で密閉されています。これにより、汚染レベルを最小限に抑え、沈着時に低基板の温度を維持することができます。その結果、このツールで制作した薄膜の品質は非常に高くなっています。東京電子MB2-730には、マグネトロンスパッタリング源、イオン源、電子銃などがあります。すべての源は容易なアクセスのための回転可能な段階に取付けられ、各源にフィルムの沈殿率の精密な制御のための調節可能な力レベルがあります。さらに、MB2-730には、チャンバー内のシリカ塩の存在を検出できる石英モニターも装備されています。VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730は、機器やユーザーを保護するためのさまざまな安全機能も備えています。非常停止スイッチ、ガス分離資産、RFシールド、水循環熱交換器があります。このモデルには、緊急時にシステムをシャットダウンするインターロック装置も装備されています。全体的に、TEL MB2-730は信頼性の高い高品質の薄膜やコーティングを製造するための強力なスパッタリングユニットです。そのマグネトロンクワッド構成と調整可能なパワーレベルは、正確な制御を可能にし、統合されたオペレーティングパネルと強力な安全機能は、ユーザーの安全性と機器の内蔵性を保証します。
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