中古 VARIAN / TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9083530 を販売中

VARIAN/TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730は薄膜成膜に最適なコンパクトでパワフルなスパッタリング装置です。このシステムは、スパッタ源、基板およびターゲットアセンブリ、および無菌陰極転送デバイスで完全に自動化されています。スパッタソースアセンブリは、強化されたエバポトロン磁気スパッタ源を備えており、DCおよびRF磁気スパッタリングの両方が可能です。ターゲットと基板アセンブリには、円形または長方形のスパッタターゲットを搭載した線形変換ステージと、基板の簡単な積み下ろしを可能にする回転可能な基板ホルダーが含まれています。無菌陰極搬送装置は、広範囲の温度でクリーンで再現性のある基板搬送を保証するように設計されており、イオン源と静電シャッターを備えています。TEL MB2-730は10ミリリットルの動作圧力に到達でき、直径24インチまでの基板に対応できます。また、安定した基板温度を維持するための温度制御基板ホルダーと、安全性を高めるためのアルゴンバックフィルとシャッターを備えています。このユニットは、使いやすさと信頼性のために設計されており、金属、誘電体、導体、半導体など、さまざまな膜の均一な蒸着を提供するために最適化されています。VARIAN MB2-730は薄膜成膜に最適なパワフルで汎用性の高いスパッタリングマシンです。