中古 VARIAN / NOVELLUS M2i #9146577 を販売中

VARIAN/NOVELLUS M2iスパッタリング装置は、最も汎用性の高い成膜ツールの1つです。これは、現場の監視と制御機能を完全に自動化したマルチテクノロジープラットフォームです。VARIAN M2iには2つまたは4つの平面カソードが装備されており、25MHzで最大100ワット、250MHzで1000ワットを提供できます。金属、合金、酸化物、カルコゲニドなど幅広い材料に適しています。NOVELLUS M2iは、RFおよびDCマグネトロンスパッタリング、およびリアクティブイオンエッチング（RIE）および高度な基板回転を備えたマルチテクニックツールです。これらの技術は、高度で複雑な材料の堆積を可能にするために、さまざまな組み合わせやプロセスで使用することができます。このシステムはまた、同じ真空チャンバに統合された高出力および高速MESA DCスパッタ源を備えています。この統合プラットフォームにより、異なるソースからの異なる材料の同時スパッタリングとスパッタソース間の迅速な切り替えが可能になります。スパッタリングユニットで使用される高度な制御および監視システムM2i、必要な特性を確実に達成するために完全に自動化することができます。これは、厚さ、組成、電気特性のリアルタイム測定を可能にするin situモニタリング機能を通じてさらに強化されています。さらに、VARIAN/NOVELLUS M2iは、複数のスパッタ源を同時に監視できる特許取得済みのマルチパラメータ制御機能を備えており、優れたプロセス管理と最適化を可能にします。VARIAN M2iには、高度な研究のための理想的なツールになる多くの追加機能も含まれています。これらには、エッチング用の反応チャンバー、現場の表面診断機、広い温度範囲の大きなサンプルチャンバー、および高度な材料のカスタマイズされた堆積を可能にする他の多くの機能が含まれます。NOVELLUS M2iは、材料の蒸着と自動制御の両方に対応する統合システムにより、複雑な材料を精密に蒸着するソリューションを提供します。