中古 VARIAN M2I #9272644 を販売中

VARIAN M2Iは、効率的で信頼性の高いウェーハイオン注入用に設計された多機能イオンインプラントおよびモニターです。このデバイスは、人間の相互作用がほとんどないウェーハセット全体を変更することができます。様々なインプラント工程のデバイスを製造するのに適しています。VARIAN M 2 Iのビームパラメータは、電子とイオンビームを様々なエネルギーに加速させることができ、様々な条件下での充電状態変換と移植を可能にします。大量生産に最適です。高速で柔軟なビーム構成により、M2Iはアダプティブイオン注入を実行することができます。装置には自動モニターと診断システムが装備されており、ユニットが特定のパラメータ内にとどまることを保証します。このマシンは、アクセルからビームラインまでのすべてのコンポーネントを監視します。また、最適な注入のための自動ビームステアリングとアライメントを可能にします。M 2 Iには、電子的、熱的、動的なプロセス制御を可能にする内部リアルタイムデータ収集ツールが含まれています。これにより、再現性と信頼性の高い埋め込みが保証され、特定の材料や構造のための堅牢なプロセスが作成されます。その他のコンポーネントには、イオン生成用のRFプラズマ源とビームコレクションを最適化するための可変開口アセットがあります。このモデルのコンピュータ制御部品は、高精度の位置制御が可能です。これには、ビームサイズの小さな変更を伴う広い領域での高速スキャンが含まれます。VARIAN M2Iはまた、究極の柔軟性を提供し、正確な埋め込みのための幅広い設定を提供するために、プログラム可能な制御とハードウェア機能を備えています。装置の自動化された自己校正および診断システムにより、パフォーマンスを最適化できます。これは、問題が発生する前に予防的なメンテナンスを行うことを可能にすることにより、適切な動作を確認し、ダウンタイムを削減するのに役立ちます。信頼性と再現性を確保するために、VARIAN M 2 Iにはいくつかのシステムが含まれています。これらには統計的レシピ最適化ユニットが含まれており、迅速かつ正確な起動とシャットダウン、高速サイクルレシピの変更を可能にします。自動インプラント深度追跡機や自動マッチング制御ツールなどの他のシステムは、効率を最大限に高めます。M2Iは、効率的で信頼性が高く、繰り返し可能なイオン注入の業界リーダーです。高速で柔軟なビーム構成と高度な監視システムにより、信頼性の高い生産を保証します。数多くのコンポーネントとシステムを備えたM 2 Iは、卓越した効率、生産性、再現性を提供します。