中古 VARIAN M2I #293813097 を販売中

VARIAN M2Iは、VARIAN Systems、 Inc。が製造するハイエンドの多軸スパッタ蒸着装置です。このシステムは、金属、半導体、プラスチック、セラミックスなど、さまざまな基板上に高品質のスパッタコーティングを提供するように設計されています。VARIAN M 2 Iユニットは、3軸ロボットプラットフォームで間接DCマグネトロン/アークターゲット構成を利用しています。この構成は、最適なプロセス洗練と高度なコーティングスパッタ蒸着機能を保証します。このマシンは、8インチ基板ステージ、5-13武装ロボットアーム、3つのデュアルチップ、ロボットスパッターガン、8つのインディジタルプロセスコントローラを備えたクローズドツールスパッタ成膜チャンバーを備えています。ロボットアームは、一貫した層の厚さと品質を維持しながら、複雑な基板と大面積の基板の両方をスパッタすることができます。さらに、圧力制御モデルは+/-3 mTorrの範囲を持ち、ガス入出力サブシステムは急速なパルスまたは連続的なガス流量を提供します。M2IのデジタルPLCユニットは高度なインプロセスコントロールアルゴリズムを備えているため、反応スパッタ蒸着と純粋なパッシブスパッタ蒸着の両方を含むことができます。さらに、この装置は統合された3チャンバ真空サブシステムを備えており、蒸着プロセス中に高い清浄度と低いバックグラウンドガス圧力を確保するのに役立ちます。このサブシステムは、複数の材料を必要とするレシピにも利用できます。M 2 Iは、堆積プロセスをさらに最適化および合理化するための幅広い追加機能を提供します。これらには、目的のスパッタ温度までターゲットを暖めるために使用できるプログラム可能なターゲットヒーターと、さまざまなスパッタパラメータをリアルタイムで表示するリアルタイムのプロセスモニタが含まれます。VARIAN M2Iは、金属、半導体、プラスチック、セラミックスなどの幅広い基板に高品質のスパッタコーティングを提供するために設計された、高度な多軸スパッタシステムです。8インチ基板ステージ、5-13武装ロボットアーム、3つのデュアルチップ、ロボットスパッタガン、圧力制御装置を備えています。さらに、高度なインプロセス制御アルゴリズムを備えたデジタルPLCユニットと、最適な清浄度と低いバックグラウンドガス圧力を保証する3チャンバー真空サブシステムを備えています。最後に、VARIAN M 2 Iにはプログラム可能なターゲットヒーターとリアルタイムプロセスモニタリングがあり、プロセスの高度化とコーティングのスパッタ蒸着機能をさらに強化します。