中古 VARIAN M2I #293619552 を販売中

VARIAN M2I
製造業者
VARIAN
モデル
M2I
ID: 293619552
ウェーハサイズ: 6"
Sputtering system, 6".
VARIAN M2Iは、薄膜の成膜に使用される高度なスパッタリング装置です。半産業加工システムで、幅広い用途に対応しています。VARIAN M 2 Iスパッタリングユニットは、DCまたはRFマグネトロンスパッタリング技術を使用して、基板上に薄膜を堆積させます。これは、基板の上に異なる材料を堆積することができることを意味する2つのターゲットを持っています。この機械は、基板全体にわたって均質で均一な薄膜成膜を提供するように設計されています。M2Iスパッタリングツールには、可変電源、磁気コイルおよび制御、標準シャッターシステム、光学部品が装備されています。その高度な設計および制御システムは、薄膜の効率的かつ正確な堆積を保証し、優れた再現性と再現性を提供します。アセットは使いやすく、特定の処理ニーズに合わせて構成することができます。直感的なプログラムメニューとプロセス制御を備えたユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備えており、目的のアプリケーションに最適な設定を簡単にカスタマイズできます。M 2 Iスパッタリングモデルには、最大12個の真空チャンバーが装備されています。これらのチャンバーは、ターゲットのアライメントと処理時間を簡素化します。また、薄膜成膜と製品保護を念頭に設計された新しい封止ターゲットセルを備えています。また、ガスフロー制御や適切に接地された配線などの高度な安全機能を備えているため、危険なプロセスに最適です。最後に、VARIAN M2Iスパッタリングシステムは、追加のプラズマ源、マスフローコントローラ、抵抗加熱、プロセスモニタリングなど、幅広いアクセサリーで使用できます。これらの付属品はそれをあらゆる薄膜の沈殿プロセスのための優秀な選択にします。全体的に、VARIAN M 2 Iスパッタリングユニットは、薄膜成膜と製品保護に最適です。その先進的なデザイン、使いやすいインターフェイス、幅広いアクセサリーは、さまざまなアプリケーションに最適です。
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