中古 VARIAN M 2000/8 #9272645 を販売中

VARIAN M 2000/8スパッタリング装置は、幅広い産業および研究課題において優れた表面品質を達成するために設計された高性能の角形スパッタシステムです。VARIAN M 2000/8は、最先端のデジタル駆動8インチ3kWスパッタソースで構成されています。このソースは、産業の要求の厳しいプロセスに必要な高い沈着率を生成することができます。材料は、DCおよびDCパルスモードの範囲で最大8つのターゲットから同時にスパッタされ、各アプリケーションの特定のニーズに合わせて迅速かつ簡単に調整可能な堆積率を可能にします。このユニットには高度なエンドポイントが装備されており、薄膜蒸着プロセス中に精密な蒸着制御を提供します。さらに、機械のリニアモーション電動ステージでは、最大5つの基板を真空チャンバに同時にロードすることができ、複数の蒸着プロジェクトの最大スループットを可能にします。これらのステージは、加工中の基板の完全かつ正確な垂直調整を提供します。さらに、このツールには2段階の避難資産が含まれており、チャンバーの迅速な避難と、処理シーケンス中の究極の微細な制御と圧力の均一性の両方を可能にします。M 2000/8は、独立したターゲットヘッド制御、プリセット/マニュアルスパッタ電源設定、スパッタ源ごとの独立した電流および電圧監視など、高度なデジタルおよびアナログ制御機能を備え、蒸着プロセス中に最高レベルの性能を提供するように設計されています。これらの機能により、重要なプロセスパラメータを正確に制御できます。チャンバーは、チャンバー内に精密な蒸着プロファイルを提供するように洗練されて設計されており、操作中にスパッタ材料の高い均一性を確保するために特別な強磁性シールドで設計されています。これにより、スパッタリング中に優れた表面品質が得られます。さらに、高性能チャンバー設計により、堆積プロセス中に汚染物や望ましくない不純物が含まれないよく維持されたフィルムが保証されます。その寿命を確実にするために、モデルは長年の途切れのないサービスのために続くように設計されている最高品質の材料を使用して構築されています。さらに、M 2000/8は、VARIANのスパッタリングの専門知識に裏打ちされており、機器の寿命を通じて包括的なテクニカルサポートのフォーラムにアクセスできます。全体として、VARIAN M 2000/8は、幅広い産業および研究用途で優れた表面品質と性能を達成するための理想的なスパッタリングシステムです。