中古 VARIAN / INTEVAC MDP-1100 #9285764 を販売中

VARIAN/INTEVAC MDP-1100スパッタリング装置は、半導体、光学、電子産業の用途に最適な先進的な薄膜成膜ツールです。VARIAN MDP-1100は、金属またはセラミックスパッタターゲットを使用して、高い再現性と精度で、基板上に薄膜を正確に堆積させます。このスパッタリングシステムは、低ESD設計のデュアルマグネトロンおよびデュアルガンスパッタリング、および調整可能な基板テーブルを備えた300mmスパッタを備えており、最大8つの独立したスパッタソースを備えた複数の基板を処理することができます。スパッタリング源は、一定の均一な成膜速度を維持するために加熱され、信頼性の高い動作のために低消費電力、低放射電源、高周波RFジェネレータで設計されています。INTEVAC MDP-1100には高度なプロセスコントロールユニットが装備されており、スパッタレートやその他のパラメータを高精度で制御できます。デュアルガンスパッタには、リアルタイム蒸着最適化のための自動膜厚モニタ（AFTM）も搭載しています。このマシンは、操作の簡素化と優れたツールパフォーマンスのために設計された直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）によってさらに強化されています。スパッタリングアセットMDP-1100水平で、モジュール式のOリング設計です。このモデルは、アップグレードされた真空冷却ファンによって駆動され、広々とした人間工学に基づいて設計された断熱チャンバーと複数の追跡手順を備えています。機器全体は、標準的な業界部品の範囲と互換性があります。VARIAN/INTEVAC MDP-1100は、金属またはセラミックターゲットの連続およびバッチスパッタリング用の信頼性の高いプラットフォームです。統合されたコンポーネント追跡システムと自動化されたプロセス制御機能により、幅広い薄膜アプリケーションに最適です。内蔵の安全機能により、クリーンルーム環境でのユーザーの安全性を確保します。VARIAN MDP-1100は、厳格なISO認定ガイドラインの下でUL承認および製造されています。