中古 VARIAN 600 GLC #9253624 を販売中

VARIAN 600 GLCスパッタリング装置は、薄膜成膜システムで使用されるPVD成膜ツールです。スパッタリング、蒸着、化学蒸着（CVD）、リアクティブイオンエッチング（RIE）などの高効率で大量の蒸着プロセス用に特別に設計されています。このシステムは、シリコンウェーハ、石英板などのさまざまな基板を使用してスパッタ成膜を行います。600 GLCは高度なスパッタ成膜ツールで、機能を強化するさまざまな機能を備えています。これは、ローディングとアンロードチャンバーを備えたデュアルチャンバー設計を特徴とし、過剰な汚染に基板をさらすことなく効率的な基板移動を可能にします。チャンバー温度も調節可能で、成膜プロセス中の幅広い温度制御を可能にします。また、スパッタレート、ターゲット電力レベル、RF周波数、蒸着速度など、幅広いプロセスパラメータを備えています。また、高性能マグネトロン源を内蔵しており、導電性の高い金属などの材料に最適です。マグネトロン源は、スパッタ蒸着のためのより高い電力密度を提供し、その結果、はるかに高い蒸着速度と蒸着プロセスのより大きな制御をもたらします。このツールはまた、CVDプロセスで使用される反応剤の濃度を制御するためのガス注入オプションを備えています。VARIAN 600 GLCは、高品質の設計を持つ非常に信頼性の高い資産であり、業界で高い質量、高速蒸着プロセスの堆積のための貴重なツールであることが証明されています。工業用および研究用の両方のプロセスを実行することができ、製造および研究開発ラボでよく見られます。薄膜成膜の汎用性を実現し、金属から絶縁体まで幅広い材料の堆積に使用できます。さらに、600 GLCは、高温アニールや急速熱処理など、さまざまな実験プロセスに使用できます。また、スパッタリングなどの精度と再現性に優れ、薄膜の正確な制御が可能です。