中古 VARIAN 3290ST #293628007 を販売中

VARIAN 3290STは、高品質の薄膜を基板に堆積させるために設計された堅牢で高性能なスパッタリング装置です。革新的なデュアルマグネトロン原理を利用して、均一で高度に制御可能な蒸着プロセスを作成します。これにより、導電性、絶縁性、磁性など、さまざまな材料をさまざまな形状、サイズ、組成の基板に堆積させることができます。VARIAN 3290 STはチャンバーと真空制御の蒸着ヘッドで構成されています。チャンバーは密閉されており、低インピーダンスのマグネトロンと2組の三極電極が含まれています。真空レベルを維持するために、ターボ分子ポンプが含まれています。マグネトロンは均一なスパッタリング場を提供し、蒸着速度を制御することができます。また、最適なフィルム品質のための最適な環境を確保するために、調整可能なプロセスガス制御システムを備えています。蒸着ヘッドは2組のコイルで構成され、磁場を作り出します。コイルの第1セットは基板にプラズマパワーパルスを適用するために使用され、第2セットは均一なスパッタリング場を生成するために使用されます。スパッタリング場は、基板表面に均一なエネルギー分布を作り出すことができ、高い蒸着率と明確なフィルム品質をもたらします。このユニットは、真空および大気圧力プロセスの両方で動作するように設計されています。そのプロセスガス制御機械は、圧力、比率、バイアス電圧、および温度だけでなく、異なるガス流量の調整を可能にします。3290STはまた、最適なプロセス制御と再現性を保証する高度な制御ツールが装備されています。3290 STは、高品質の薄膜を作成するのに理想的な信頼性と費用対効果の高いスパッタリング資産です。その高度な設計は、高められたフィルム品質とプロセス制御、ならびに長い耐用年数を提供します。高性能で、自動車、航空宇宙、光学、半導体業界のアプリケーションに最適です。