中古 VARIAN 3290 #9398805 を販売中

VARIAN 3290スパッタリング装置は、幅広い物理蒸着（PVD）用途向けに設計された汎用性の高い高性能な蒸着システムです。このユニットは、蒸着速度とプロセスパラメータ、高速蒸着速度、および大型サンプル全体の正確な均一性、および堅牢で信頼性の高い動作を正確に制御します。3290は、特定のアプリケーションやプロセスをサポートするさまざまなアドオンモジュールとコンポーネントを備えたモジュラーPVDマシンです。このツールには、高出力スパッタガン、RFまたはDC電源、プロセスパラメータを監視する機能、最大4つの作業チャンバーを備えた統合ストレージチャンバーが含まれます。従来のスパッタリング蒸着、マルチターゲットスパッタリング、デュアルターゲット蒸着、リアクティブスパッタリング、プロセス要件の変化に応じてさまざまな追加構成を実行するためのチャンバーを装備できます。優れた均一性を確保するために、アセットは基板全体に均一性を提供するために自動均一補正（AUC）を提供します。また、高精度な温度制御が可能で、室温から1000°C以上のプロセス温度、光学およびコンフォーマルフィルム層の温度タッキング機能も備えています。VARIAN 3290は、1×10-7 Torrの真空レベルで最大10 Torrを動作させるために設計されており、毎秒最大30リットルのポンプ速度を持ち、材料互換性のための最新のRoHS規格に準拠しています。この装置は、デジタルステッピングモータ（DMS）、リニアモータ（LM）、オープンループアナログモータ（AM）を組み合わせて駆動し、高速かつ正確なモーションコントロールを提供します。安全性を最大限に高めるために、3290は統合された安全連結システム、外的な緊急停止機能および埋め込まれたコントローラーのような高度の安全機能を含んでいます。コントローラは、ユニットの簡単で再現性のあるセットアップと、必要に応じてスパッタリングパラメータと堆積パラメータを調整する機能を提供します。VARIAN 3290は、金属、合金、酸化物、誘電体など、さまざまな層材料を作成するために使用できる汎用性と信頼性の高いPVDマシンです。このツールは、マイクロエレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、航空宇宙および防衛、自動車、産業用途などの分野のアプリケーションに最適です。このアセットはメンテナンスが容易な設計となっており、より高いパフォーマンスと強化されたプロセス制御機能のためにアップグレードすることができます。