中古 VARIAN 3290 #9376019 を販売中

製造業者
VARIAN
モデル
3290
ID: 9376019
ヴィンテージ: 1990
Sputtering system 1990 vintage.
VARIAN 3290は、高度な薄膜蒸着プロセスで使用するように設計されたハイエンドスパッタリング装置です。直径5インチまでの回転可能な基板を使用し、任意の方向に正確な均一な薄膜蒸着を可能にします。それは従来のシステム上の制御の優秀な範囲を提供するので、ガリウムのArsenideのフィルムの沈殿のような高度の研究開発の適用で頻繁に、使用されます。3290にはさまざまな機能があり、ハイエンドスパッタリングアプリケーションに最適なシステムです。それは4つの独立して制御可能な陰極の電源および簡単なソフトウェアユーザーインターフェイスを特色にします。これにより、ユーザーはアルミニウム、銅、チタンなどの幅広いフィルム材料をスパッタするために必要なすべてのパラメータを簡単にプログラムすることができます。高精度な制御により、0。1ミクロンの薄膜をスパッタすることも可能です。VARIAN 3290には、事故を防ぐための多くの安全機能も装備されています。真空漏れが発生した場合に機械をシャットダウンする真空インターロックユニットを装着しています。さらに、アーク抑制機能も備えており、電流アークが薄膜を形成し損傷するのを防ぎます。3290はまた、スパッタリング処理から得られたデータを簡単に分析および操作できるオンボードコンピュータマシンを備えています。これにより、薄膜スパッタリングプロセスの精度と再現性が向上します。また、スパッタリングプログラムを保存できるため、毎回同じパラメータを設定することなく、薄膜蒸着プロセスを簡単に繰り返すことができます。汎用性、機能の範囲、安全システム、精密制御は、VARIAN 3290は、アプリケーションに高品質で信頼性の高いスパッタリングツールを必要とする人に最適な選択肢です。プログラミングの容易さと最大120µm/minの高速スパッタリング速度は、さらにその魅力に追加されます。最終的に、3290は、先進的な薄膜蒸着を必要とする研究や開発プロジェクトにとって、減価償却可能でありながら貴重な資産です。
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