中古 VARIAN 3290 #9375148 を販売中

VARIAN 3290は、様々な蒸着用途向けに設計されたスパッタリング装置です。RFとDCスパッタの組み合わせなどの特長を活かし、基板上のコンフォーマル性が高く均一な薄膜コーティングが可能です。また、平面ターゲットと回転スパッタターゲットの両方を備えており、1つまたは複数の材料層を高い割合で基板に堆積させることができます。3290は高速成長および沈殿プロセスを可能にする高真空ポンプおよびガス除去システムが装備されています。さらに、コンパクトな設計により、ユーザーフレンドリーで人間工学に基づいた職場での小さなフットプリント操作が可能です。VARIAN 3290は、コンピュータ制御の周波数ベースのスパッタ電源制御マシンを備えており、あらゆるプロセスで最大の蒸着速度を実現します。このツールには、RFとDCスパッタ蒸着の両方に使用できる調整可能なターボスパッタリングアセットも含まれています。このモデルには、ユーザーがスパッタの電力と蒸着速度を正確に制御できる電磁スパッターシャッター制御機能が搭載されています。さらに、装置には直感的なデジタル不活性ガス注入システムがあり、堆積プロセスを正確に制御することができます。3290はまたスパッタの流れおよび基質の温度の精密な制御を可能にする高度のスパッターガスユニットを利用します。この機械には、基板表面の正確な温度制御を可能にするクローズドループ温度制御ツールが含まれています。さらに、アセットには動的圧力制御機能が含まれており、所望のコーティング速度に適切な圧力制御を提供するために調整することができます。VARIAN 3290は、他の同等のシステムよりも単位面積あたりのスパッタ濃度が最も高い。3290は、利用可能な最も先進的なスパッタリングシステムの1つであり、非常にコンフォーマルで均一な薄膜蒸着プロセスに使用できます。このモデルは、基板温度や表面圧力などのさまざまなパラメータを制御するために、幅広いスパッタ電源を使用しています。さらに、調整可能なターボスパッタシステムと周波数ベースのスパッタパワーコントロールユニット、直感的な不活性ガス噴射装置を備えています。このツールには、所望のコーティング速度を確実に達成するための動的圧力制御機能も含まれています。