中古 VARIAN 3290 #9255392 を販売中

VARIAN 3290は、主にマイクロエレクトロニクスの製造に使用されるスパッタ装置です。タンタル窒化物、二酸化ケイ素、銅、低温ポリシリコンの成膜、正・負のRIE（リアクティブイオンエッチング）などのエッチング処理など、様々なプロセスを行うことができるコンパクトで統合されたシステムです。3290は、その小型、小型、大型真空チャンバーなど、他のスパッタリングシステムに比べていくつかの利点があります。これは、単純な2 "x 2"から6"ウェーハのサイズまでの基板の範囲で動作するように設計されています。VARIAN 3290の特徴は、様々なスパッタリングタスクを実行する多目的な機能を提供します。スパッタリングプロセスの速度を調整して、堆積している基板のサイズと複雑さに合わせて調整することができます。また、さまざまなスパッタリングターゲットが用意されており、異なる蒸着材料やエッチング処理を可能にします。スパッタリングタイプに応じて動作できるDCまたはRF （Radio Frequency）電源が選択できます。これらの電源は、RF用0-5kVからDC用0-3kVまでの電圧を調整するようにプログラムすることもでき、スパッタリングプロセスを正確に制御できます。3290は、プロセスのための包括的な信号制御が装備されています。これは、圧力読み出し、温度および電圧レベルの表示、磁気圧力情報、およびチャンバー温度などのいくつかのデジタルディスプレイを備えています。また、スパッタリングターゲットのリニアモーションを監視するリニアエンコーダを内蔵しています。データ収集やプログラミングのためにパーソナルコンピュータに接続することもできます。全体的に、VARIAN 3290はスパッタコーティングのための効率的な機械です。それは他のスパッタリングシステムに比べてはるかに少ないスペースを取るように設計された人間工学に基づいたツールです。調整可能なパラメータのその範囲は、一貫した高品質のスパッタコーティングを作成するために使用することができます。さらに、3290は低温、小型化された電子機器、および高度なマイクロシステムの開発に適しています。正確なステッピングモーター制御と操作が容易なVARIAN 3290は、研究および生産作業に理想的なコンパクトスパッタリング資産です。