中古 VARIAN 3290 #9236473 を販売中

VARIAN 3290スパッタ装置は、薄膜成膜において優れた接着性と均一性を提供するために、表面コーティングおよび成膜用途に様々な業界で使用される強力なツールです。このシステムは高性能チャンバーで構成されており、高温および真空プロセスを維持し、低温での動作も可能です。3290単位の主要な部品は多位置負荷ロックを含んでいます；ターボ分子ポンプ式高真空チャンバー、スパッタ源、上部プラテンアセンブリ。さらに、このマシンには、高真空のターボポンプと低真空のためのダイヤフラムポンプが含まれています。ターボ分子ポンプは、高真空および超高真空アプリケーションに優れた性能を提供し、プロセススループットを向上させるための可変速度制御を備えています。VARIAN 3290ツールのマルチポジションロードロックチャンバーは、スループットと生産性を最大化するように設計されています。素早い基板の積み下ろしが可能で、様々なサイズや形状の基板にも対応可能です。また、従来のマグネトロンスパッタリング、パルススパッタエッチング、熱蒸発など、様々な蒸着プロセスに対応しています。3290のスパッタソースは、高いスループット率でも優れた均一性を提供するように設計されており、ターゲット材料や形状を幅広く選択できます。プリセットターゲット角度により均一性が確保され、スパッタカバレッジが一貫しています。また、目的の成膜プロセスに合わせて、ターゲットの材料や形状を簡単に調整することができます。上部プラテンアセンブリは交換可能なコンポーネントで設計されており、多彩なプロセス機能を可能にします。また、異なる基板サイズ、形状、材料に対して効率的な真空シールを可能にします。VARIAN 3290は、高スループット薄膜成膜に最適な結果を提供するように設計されています。このモデルは、信頼性が高く費用対効果の高い普遍的で汎用性の高いスパッタ機器であるため、研究開発に最適です。さらに、その使いやすい制御と基板サイズと材料タイプを扱う能力は、商用アプリケーションに最適です。