中古 VARIAN 3290 #9236452 を販売中

VARIAN 3290スパッタリング装置は、工業用および研究用の強力なツールです。高純度の薄膜、ストイキオメトリック組成、膜厚の厳密な制御、高い蒸着率を実現します。このシステムは、大容量の真空チャンバーと、荷電粒子やイオンを噴射する材料であるターゲットの配列を利用して、基板上に薄膜やコーティングを作成します。3290ユニットには、空気中の粒子を引き出し、最大0。001 Torrの大気圧を低減できる高真空チャンバーが装備されています。これにより、電気、構造、光学、磁気などの完全な均質性と正確な特性を持つ薄膜の堆積が可能になります。チャンバーはまた、薄膜材料の効率的な成長を容易にする精密な温度制御を含んでいます。ターゲットはチャンバー内に設置されており、金属、セラミックス、誘電体で構成することができます。これらの材料は、それらをスパッタするために、エネルギーイオンで爆撃されます。チャンバー内に存在する気体種は、薄膜が持つ特性を決定する成長フィルムと反応します。VARIAN 3290スパッタリングマシンの効率と精度は、デジタルパラボリックリフレクターマグネトロンツールから得られます。このアセットは、均一なスパッタリングを提供し、蒸着速度を従来のスパッタリングシステムの最大20倍に向上させます。このモデルのマグネトロンは、粒子経路を制御することができ、生成される薄膜の均質性と均一性を向上させます。3290装置は、太陽電池、ディスプレイ、光学センサー、マイクロエレクトロメカニカルシステムなどのアプリケーションに最適です。高い沈着率、精密な制御、均質性を提供する能力により、多くの異なる分野での産業および研究用途に最適なツールとなります。このスパッタリングシステムは、さまざまな薄膜製品を開発し、作成するための強力で信頼性の高いツールです。