中古 VARIAN 3290 #9236357 を販売中

VARIAN 3290スパッタリング装置は、材料の薄膜を基板に堆積させるための汎用性の高いツールです。VARIAN Inc。が開発した3290は、標準的なスパッタ蒸着とスパッタエッチングの両方を実行できるシングルチャンバーシステムです。アルゴン原子の集光ビームを使用して、直径6 cmまでの金属などの物質ターゲットをスパッタする使いやすいイオン源を備えています。VARIAN 3290は、毎分最大35ナノメートルの高速蒸着速度を可能にする信頼性の高いユニットです。3290は、蒸着速度、イオン電流、イオンエネルギー、ガスおよび圧力制御などのプロセスパラメータの優れた制御を備えています。機械のコントローラーは容易に沈殿プロセスの精密な制御を保障するためにプログラムすることができます。VARIAN 3290は、ツールのコントローラを介して簡単に監視できる自動プラズマ洗浄操作により、スパッタリング前に基板表面を洗浄するためにも使用できます。3290は、in-situイオン電流や温度測定など、さまざまな測定および診断に対応しています。これにより、追加の計測機器を必要とせずに、薄膜の正確で一貫した堆積が可能になります。さらに、VARIAN 3290は、最大イオン化効率とスパッタレートの均一性を目標全体にわたって設計されたインテリジェントプロセスチャンバーを備えています。3290は消費電力の点でも非常に効率的です。操作には13個のAMP供給が必要なだけで、スペースが希少な用途に最適です。さらに、VARIAN 3290のプロセスチャンバーは、最適な安全性と性能を実現するために、簡単に分離、密閉、換気することができます。全体として、3290は優れたスパッタリング資産であり、高速蒸着速度で高品質のフィルムを提供することができます。強力なプロセス制御機能、省エネ構造、標準的なスパッタ蒸着とスパッタエッチングの両方を実行する能力を備えています。VARIAN 3290は、堆積ニーズに合わせた信頼性の高い効率的なモデルをお探しの方に理想的な選択肢です。