中古 VARIAN 3290 #9236351 を販売中

VARIAN 3290は金属および酸化物のコーティングの塗布のために設計されている密集したスパッタ装置です。3インチ（7。62 cm）のマグネトロンカソードと1つの平面カソードを使用して、薄膜やコートサンプルをさまざまな材料で堆積させます。このシステムは、均一なカバレッジを持つ複雑な基板と大面積の基板の両方にコンフォーマル薄膜を堆積することができます。このユニットは、サンプルのコーティングにオートスパッタリングプロセスを利用しています。このプロセスは、高周波の無線周波数電源に依存して、2つの反転磁場生成ターゲットにバイアス電圧を供給し、ターゲットから基板に向かって材料をスパッタするエネルギッシュなプラズマ環境を作り出します。イオン化ガスまたはアルゴンは、より広範囲のフィルム特性と量産能力の向上を可能にするエネルギー粒子の追加フラックスを提供するために使用されます。3290はまた閉鎖したループ制御機械が装備されています、スパッタ率および均等性機能の精密な調節を可能にします。プロセスパラメータを精密に制御することで、大型基板を均一にカバーする理想的な膜厚プロファイルを実現できます。すべてのプロセスパラメータは、磁場調整から厚さ制御まで自動です。VARIAN 3290は、高品質の薄膜およびコーティングを製造するための貴重なツールです。それは優秀な適用範囲およびconformal結果のいろいろなフィルムおよびコーティングを作り出す簡単で、有効な方法を提供するように設計されています。このツールはまた、量産アプリケーションに費用対効果の高いソリューションを提供し、エレクトロニクス、自動車、航空宇宙、光学部品などのさまざまな業界で使用できます。