中古 VARIAN 3290 #9236343 を販売中

VARIAN 3290は、金属、酸化物、窒化物、およびその他のスパッタ材料から薄膜を基板またはターゲットに堆積させるために設計されたスパッタリング装置です。スパッタリングとは、半導体デバイスの製造において、真空密閉されたチャンバーから基板に材料の薄膜を堆積させるプロセスです。3290は、効率的な生産を可能にする3つのソース、ハイスループットツールです。このシステムは、約1x10-7Torrのチャンバー圧力で動作し、RF電源、オンオフ時間、およびターゲット基板電源構成を介して、蒸着速度と蒸着均一性を操作することができます。VARIAN 3290は、スパッタガスの範囲で構成することもできます。8インチまでの基板加工が可能で、様々な用途に適しています。このユニットは、ロボットローダーを備えており、命令の読み込みとリモートジョブの実行に柔軟性を提供し、マシンを均一に実行できます。3290はまた高度の真空制御、圧力および温度センサーおよび欠陥の位置の機能と装備されています。これらの機能はすべて、生産および研究環境での使用に適しています。このツールは、便利で柔軟なオートメーション制御を提供し、優れた結果を提供します。ユーザーはWebブラウザからVARIAN 3290にアクセスでき、リモート設定と制御が可能です。また、リアルタイム診断機能も備えており、最適なプロセス最適化が可能です。さらに、このアセットは優れた均一性と蒸着性能を提供し、さまざまなアプリケーションに対応する信頼性の高いモデルとなっています。3290は、薄膜蒸着用途向けに設計された信頼性の高い強力なスパッタリング装置です。高いスループットと柔軟な自動化を提供し、効率的かつ正確な生産を可能にします。その高度な機能と制御により、研究および生産レベルのアプリケーションに最適です。