中古 VARIAN 3290 #9236342 を販売中

VARIAN 3290は、VARIAN Semiconductor Equipment Associates、 Inc。が製造する高度なスパッタリング装置です。このシステムは、薄膜の作成、化合物半導体デバイスの製造、微細加工など、さまざまな用途向けに設計されています。3290は、スパッタリング率を高め、均一性と接着性を向上させた薄膜の層を生成する特許取得済みのマグネトロンスパッタリング技術など、多くのユニークな機能を提供しています。また、プログラム可能なプロセス変数とエンドポイント検出を備えた統合プラズマエッチング機能を備え、プロセス制御をさらに強化します。このプラズマエッチングプロセスは、狭いトレンチと細かい特徴を生成するために使用することができます。さらに、VARIAN 3290は広範囲の電源により、高い蒸着速度を実現しています。6インチから14インチまで、最大4つのスパッタ源を備えた幅広いチャンバーサイズに対応できます。調節可能な傾きの特徴を使うと、スパッタ源は基質で正確に向けることができます。機械にまた25°Cまで温度調整を可能にする統合された熱電対およびPID制御が付いている速い基質の暖房機能があります。3290にはまた、高度なコンピュータベースのプロセス制御ツールがあり、オペレータがリアルタイムのプロセスデータとトレンド分析にアクセスできるようにすることで、プロセス開発と歩留まりの最適化を簡素化するのに役立ちます。デジタルレーザー干渉計アセットも統合されており、総厚さのアライメントと均一性を測定および監視するとともに、端点の厚さと層厚を正確に制御し、ナノメートルレベルで高精度に制御します。また、幅広い安全機能を搭載しています。それに2レベルのユーザー認証、侵入者の監視、火災警報装置、温度の積み過ぎの保護およびESD/EMIの保護があります。さらに、VARIAN 3290システムは、FDA規格を満たすように設計されており、非常に安全で生産的な作業環境を確保しています。要約すると、3290スパッタリングユニットは、生産能力の向上とプロセス制御の向上に役立つ幅広い機能を備えた先進的なソリューションです。その革新的なマグネトロンスパッタリングプロセス、統合されたプラズマエッチング機能、さまざまなチャンバーサイズ、調整可能な傾斜機能、高速基板加熱、高度なプロセス制御機械、レーザー干渉計ツールは、さまざまなアプリケーションに最適です。