中古 VARIAN 3290 #9227752 を販売中

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VARIAN 3290
販売された
製造業者
VARIAN
モデル
3290
ID: 9227752
ウェーハサイズ: 6"
PVD System, 6" Configuration: PC (3) PM AC Rack Compressor.
VARIAN 3290は、高品質、コスト効率、信頼性の高い薄膜蒸着技術に対する需要の高まりに対応するために設計されたハイエンドスパッタコーティング装置です。このシステムは、スパッタリングプロセス全体で均一なコーティングを保証するために、さまざまな調整可能なパラメータを備えています。それは優秀な安定性および振動抵抗を保障するために1部分アルミニウムフレームと設計され、正確で、精密な沈殿物を保障する活動的な振動抵抗力がある制御単位を含んでいます。3290スパッタコーティング機は、プロセス最適化された2つのチャンバー構成で構成され、プロセスの柔軟性と生産効率を実現します。2つの部屋の選択;標準(ETC-1)および先進(ETC-2)は、マグネトロンおよびDCスパッタリング、プラズマ強化イオンビーム蒸着、電子ビーム蒸着、熱蒸発などのさまざまな処理技術をサポートするように設計されています。このツールはまた、金属からの材料の幅広い選択のための処理技術をサポートしています、その中で、Ti、 Al、 Cuなど、誘電体、有機材料やセラミックス。このアセットは、真空密閉チャンバと、高度なプロセス制御戦略のために最大3つの独立した電源を備えたRFマッチングネットワークで構成されています。タッチスクリーン対応のリアルタイムグラフ、診断、トラブルシューティング機能を備えたコントロールパネルにより、蒸着プロセスを緊密かつ効率的に監視できます。VARIAN 3290(10 − 11〜10 − 3 mbar)の拡張圧力範囲により、高圧と低圧の両方の処理を可能にし、ガスと有機物の両方の使用をサポートします。3290はまた、ロールツーロールシステム、高度な基板処理システム、およびさまざまな特殊な機能要件などの幅広いオプションを提供しています。このモデルは、プリント基板、集積回路、フラットパネルディスプレイ、磁気記録媒体などの研究、プロトタイピング、または大量コーティング用途の特定の要求に合わせてカスタマイズすることができます。VARIAN 3290は、優れたプロセス理解と再現性と信頼性の高いプロセス結果のために設計されています。さらに、その有効性と柔軟性により、多くの産業、研究、消費者向けアプリケーションに人気があります。
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