中古 VARIAN 3290 #9226265 を販売中

VARIAN 3290は、薄膜コーティングの成膜を可能にするように設計された、乾燥した静電気高真空スパッタリング装置です。このシステムは、1つの自己完結型ユニットで、直流（DC）、パルス変調直流（PMDC）、および無線周波数（RF）の3つの蒸着技術を提供します。このユニットは、真空チャンバー内のコーティング材とArガスのプラズマを作成し、基板に向かって加速します。コーティング材料は通常、チタン、クロム、アルミニウムなどの合金ですが、他の金属や非金属を使用することができます。スパッタリング中、プラズマ爆弾中に正に帯電したイオンがターゲット材料を侵食し、放出された粒子の一部が基板上のコーティングに統合されます。3290マシンは、ポンピングユニット、電源、コントローラ、複数のターゲット、RFツール、および温度および真空監視装置で構成されています。それはアプリケーションに応じて2つまたは4つのマグネトロンを持ち、それぞれ最大100ワットの電力定格を備えています。マグネトロンは、スパッタリング蒸着に必要な電圧と電流を供給するために電源と結合されています。コントローラは、調整可能なパワーレベル、ターゲット選択、および基板温度制御を提供します。このアセットには、モデルの故障を防ぐために設計されたいくつかの安全機能もあります。電圧は最大5kVに制限でき、過熱を防ぐために設定された間隔で電力を監視します。この装置には、過剰なガス蓄積の場合に安全な動作を可能にする自動圧力解放が装備されています。VARIAN 3290は、直径500mm、重量50kgまでのさまざまな基板に対応するために、複数のサイズがあります。また、ユーザーフレンドリーであり、拡張実行のために特定の時間にスパッタリングを許可するようにプログラムすることができます。システムとそのコンポーネント部品の移植性により、フィールドアプリケーションに最適です。全体的に3290は、信頼性が高く使いやすい高性能スパッタリングユニットです。様々な素材を使用した幅広い基板の充填やコーティングが可能で、高度な安全機能により、信頼性と安全性を確保しています。