中古 VARIAN 3290 #9226098 を販売中

VARIAN 3290スパッタ装置は、高スループット薄膜成膜のための費用対効果と信頼性の高いソリューションです。それは産業および実験室の環境の使用のために設計されています。それは直径9インチまでの10の基質のための処理された部屋を特色にします。部屋の設計は率および均等性のために独自に調節可能である3つのRF/DCのプラズマ源から成っています。冷却のための調整可能な水流量もあります。システムには、最大4つのソースホルダー位置を持つソースバレル、および4つのソースホルダー位置を持つ抽出バレルを含む2つの異なるプロセス容器が装備されています。ソースは素早く簡単に変更できます。3290はまた、さまざまな電源およびプロセス制御オプションを備えています。これらの制御により、精密な薄膜蒸着が可能です。温度、圧力、ポンプ速度はすべてプログラム可能です。圧力およびポンプ速度を調節できるように外的な回転子ドライブがあります。これは、スパッタされた層の均一性を確保するのに役立ちます。VARIAN 3290には、さまざまな安全機能も含まれています。ゲートバルブが開いている限り、電源への電力供給を防止するインターロック、過熱を防止する冷却ユニットなどがあります。信頼できる薄膜成膜に必要な安全機能を提供するだけでなく、3290は優れたコスト削減を提供します。メンテナンスのダウンタイムを最小限に抑えることで、企業全体の運用コストを大幅に削減できます。また、未経験者でも簡単にインストールおよび操作でき、多くの産業および実験室のアプリケーションに理想的です。VARIAN 3290スパッタリングマシンは、多くの産業および実験室の薄膜蒸着アプリケーションにとって信頼性が高く、費用対効果の高い選択肢です。調節可能な電力レート、温度、圧力、およびポンプ速度制御を備えており、層の正確な堆積を実現します。設置・操作も容易で、運用コストを大幅に削減できます。