中古 VARIAN 3290 #9212609 を販売中

VARIAN 3290は産業用に特別に設計されたスパッタ装置です。導電性、金属性、非導電性材料の薄膜をさまざまな表面に堆積させることができます。スパッタリング（sputtering）とは、スパッタガン（sputter gun）と呼ばれる原料からエネルギー粒子を照射して、対象物の表面から物質の粒子を除去するプロセスです。粒子は最終的に処理される表面に定着し、薄膜を形成する。3290は、高速生産スパッタリングアプリケーション用に設計された単一船舶、デュアル船舶、またはマルチベッセルシステムです。このユニットには、最大60kW電力に達することができる電源が装備されており、迅速なサイクル時間で幅広い材料をスパッタすることができます。また、成膜中にチャンバーとプロセスパラメータを監視する自動化されたプロセス制御マシンを使用して、安定した膜が形成されます。このツールは、磁気データストレージメディア、透明導体、光学コーティング、絶縁層など、ほとんどの抵抗材料および誘電材料蒸着アプリケーションに適しています。VARIANの特許取得済みの自動自己調整双方向バイアス資産により、圧力や電力などの最適なスパッタパラメータを独立して制御できます。この機能により、より安定した反復可能なフィルム品質と、より良い表面品質が得られます。VARIAN 3290は、オペレータと機器を保護するさまざまな安全機能を備えた堅牢なモデルです。自動化されたチャンバークリーニング装置を内蔵し、メンテナンスとダウンタイムを最小限に抑えて動作するように設計されています。また、真空性能に優れ、低温での蒸着が可能-80C。全体的に、3290は産業等級の適用のための優秀な薄膜の沈殿の質そして反復性を提供する高度のスパッタリングユニットです。これは、信頼性が高く、堅牢で使いやすく、堆積パラメータと動作時間の優れた制御を提供します。幅広い機能を備え、工業製品に使用される高品質の均一な薄膜を堆積するための市場で最高のソリューションの1つです。