中古 VARIAN 3290 #9174775 を販売中

VARIAN 3290スパッタリング装置は、堅牢で高性能、および高度なスパッタリングおよび蒸発機能を幅広い材料およびアプリケーションに提供するために独自に設計されています。この高性能は、精密制御DC高周波電源、3つのターボポンプおよびターボ分子ポンプ超高真空レベル（UHV）、スパッタリングチャンバーと真空レベルのワンタッチ制御、およびさまざまな高度な機能を含む、慎重に設計されたatグレードのコンポーネントによって達成されます。3290の高性能は、完全に密閉されたリリースバルブを含む高度な設計およびエンジニアリング要素によって可能になります。これには、非可燃性および非毒性の空気および電気触媒、および避難したアルゴン環境とユニークな暖房システムの組み合わせを含む高真空室があります。さらに、電源は高効率で正確に制御され、スパッタリングチャンバーは正確で信頼性の高い基板制御を提供します。VARIAN 3290は、薄膜成膜、金属や酸化物のスパッタリング、蒸着、エッチングなど、幅広い用途に対応しています。このユニットは、多結晶および単結晶ターゲットの精密かつ均一な蒸着を提供することができ、また、硬質および柔軟な基板の薄膜蒸着にも使用できます。温度制御された基板チャックは、高温プロセスに最適であり、使いやすい機能により、迅速なセットアップと動作プロセスを可能にします。3290はまた2つの異なった基質を同時にスパッタすることを可能にする二重源の操作を特色にします。これにより、ダウンタイムを最小限に抑えて最大のプロセス速度を実現し、堆積パラメータをユーザーが制御できるようになります。さらに、このマシンは圧力と真空レベルに対する正確なフィードバックを提供し、正確で信頼性の高いプロセス制御を可能にします。全体として、VARIAN 3290は高信頼性、高度なスパッタリングツールであり、幅広い汎用性と効率的な成膜機能を提供します。堅牢な設計、精密な制御、使いやすい機能により、多種多様な薄膜成膜、スパッタリング、蒸着アプリケーションに適しています。